Các đặc điểm
- Cường độ chùm tia ion hơn 60nA để tăng năng suất xử lý mẫu.
- Điện áp gia tốc thấp giảm hư hại khi chuẩn bị mẫu.
- Chuẩn bị mẫu màng mỏng chính xác nhờ ứng dụng bằng sáng chế Micro-sampling của Hitachi (*).
- Bộ giữ mẫu Tương thích (*) với máy SEM, TEM và STEM của Hitachi cho phép chuyển mẫu nhanh chóng và tạo ảnh cũng như phân tích sâu hơn.
* Tùy chọn
** Hình của thiết bị trong ảnh bao gồm các tùy chọn