Hệ thống nhỏ gọn nhưng vẫn đảm bảo độ phân giải cao so với dòng máy cùng loại. Flex SEM được thiết kế mới hệ thống quan điện tử và đầu dò có độ nhạy, giúp mạng lại độ tin cậy cao và phân giải hình ảnh có thể đạt tới 4nm.
Sử dụng cộng nghệ chân không thấp tiên tiến cho phép quan sát mẫu không dẫn điện mà không cần chuẩn bị mẫu trước.
Giao diện sử dụng rất đơn giản và dễ vận hành ngay cả với những người mới làm quen với máy, có nhiều chức năng tự động, tốc độ thu thập dữ liệu nhanh. Chức năng chuyển động mới được cải tiến- SEM Map giúp xác định vị trí quan sát nhanh, trực quan chỉ bằng một nút kích.
Đặc tính kỹ thuật:
Thân máy thiết kế nhỏ gọn
Hệ thống kính hiển vi điện tử quét (SEM) được thiết kế nhỏ gọn tối đa (chiều rộng 450mm ). Phần thân máy chính có thể tháo dời để di chuyển linh hoạt. Chỉ yêu cầu một ổ cắm tường tiêu chuẩn.
Chất lượng hình ảnh vô song
Hệ thống cột quang học điện tử mới được phát triển hoặc đầu dò áp suất biến đổi mở rộng (UVD) cho phép chụ ảnh chất lượng cao ở thế điện áp thấp và độ chân không thấp.