Giao thoa kế laser quang học có độ ổn định cao
-Máy đo này sử dụng một giao thoa kế laser sợi quang học, một trong những công nghệ làm nên tiếng tăm cho Tokyo SEIMITSU và tích hợp một giao thoa kế laser quang lộ có độ ổn định cao mới phát triển có độ phân giải 0,31 nm.
-Hệ thống này có dải tần nhạy sáng cũng như tỷ lệ độ phân giải là 42.000.000 : 1. Điều này có nghĩa là trong một lần đo duy nhất bạn có thể đánh giá các biên dạng viền trên phạm vi rộng và bề mặt nhỏ, khuất.
Truyền động mô-tơ tuyến tính (Đã được cấp bằng sáng chế)
-Truyền động mô-tơ tuyến tính đảm bảo độ chính xác cao và chuyển động với tốc độ cao.
-Ngoài ra, độ rung thấp đảm bảo đo ổn định hơn ở các mức phóng đại cao.
Độ nhám và đường viền được phân tích trong một lần đo
-Hiệu quả đo tăng và đồng thời vẫn duy trì được độ chính xác cao.
Phạm vi rộng
-Phạm vi đo rộng 200 mm (chiều ngang) và 13 mm (chiều dọc)
-Ngoài ra hệ thống còn cung cấp thiết bị nghiêng cơ giới có khả năng nghiêng đến 45°. (SURFCOM CREST-T)